@phdthesis{oai:repo.lib.tut.ac.jp:00001728, author = {大石, 浩史}, month = {2015-04-15}, school = {豊橋技術科学大学}, title = {γ-Al2O3/Si(100)基板上のPb(Zr,Ti)O3薄膜焦電型赤外線センサの集積化に関する研究}, year = {} }