@phdthesis{oai:repo.lib.tut.ac.jp:00002015, author = {土山, 和晃}, month = {2017-07-27}, school = {豊橋技術科学大学}, title = {窒化物半導体-シリコン異種ウエハ接合を用いた高密度光電子集積回路の基盤技術}, year = {} }