@phdthesis{oai:repo.lib.tut.ac.jp:00002068,
 author = {直永, 卓也},
 month = {2018-12-17},
 school = {豊橋技術科学大学},
 title = {半導体デバイスのバックエンドプロセスの複合要因故障と故障解析技術},
 year = {}
}