@inproceedings{oai:repo.lib.tut.ac.jp:00002174,
 author = {Inada, Ryoji and 稲田, 亮史},
 book = {日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会第166回定例研究会講演予稿資料},
 month = {Mar},
 pages = {28--37},
 title = {⼆次電池⽤セラミックス材料の薄膜・厚膜化技術へのAD 法の適⽤検討},
 year = {2021}
}