@phdthesis{oai:repo.lib.tut.ac.jp:00000387,
 author = {榊, 守},
 month = {2012-11-09},
 school = {豊橋技術科学大学},
 title = {チタン陰極窒素ガス真空ア-クプラズマにおける励起・電離および蒸着プロセスに関する研究},
 year = {}
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