@misc{oai:repo.lib.tut.ac.jp:00000913, author = {柳谷, 俊一}, month = {Mar}, note = {博士(工学), 豊橋技術科学大学}, title = {シリコン/Al[2]O[3]系でのシリコン量子構造の作製に関する研究}, year = {1999} }