@misc{oai:repo.lib.tut.ac.jp:00000915, author = {鄭, 永哲}, month = {Mar}, note = {博士(工学), 豊橋技術科学大学}, title = {Al予備堆積法の導入による薄膜ヘテロエピタキシャルSOI構造に関する研究}, year = {1999} }