WEKO3
アイテム
不純物ドーピングを用いたVLS成長法によるSiマイクロプローブアレイとデバイス応用
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/1715
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/17151352be99-2e1d-4cbc-84c5-a71237597830
Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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公開日 | 2015-04-07 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 不純物ドーピングを用いたVLS成長法によるSiマイクロプローブアレイとデバイス応用 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | Doped Si Microprobe Arrays by Vapor Liquid Solid Growth Using In-Situ Doping and Their Device Application | |||||
言語 | en | |||||
言語 | ||||||
言語 | eng | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
資源タイプ | thesis | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
著者 |
Md. Shofiqul, Islam
× Md. Shofiqul, Islam |
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学位名 | ||||||
学位名 | 博士(工学) | |||||
学位授与機関 | ||||||
学位授与機関名 | 豊橋技術科学大学 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 2007-07-23 | |||||
学位授与番号 | ||||||
学位授与番号 | 13904甲第485号 | |||||
関連サイト | ||||||
識別子タイプ | URI | |||||
関連識別子 | http://www.tut.ac.jp/university/docs/abstK485.pdf | |||||
関連名称 | TUT博士論文要旨 | |||||
他の資源との関係 | ||||||
関連名称 | 上記資料は要旨のみ利用可 | |||||
著者版フラグ | ||||||
出版タイプ | AM | |||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa |