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アイテム
化学気相成長法による集積回路の配線用アルミニウム薄膜の形成に関する研究
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/391
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/391425e26d3-c490-4397-b553-17a3899b5834
| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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| 公開日 | 2012-11-06 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 化学気相成長法による集積回路の配線用アルミニウム薄膜の形成に関する研究 | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||||
| 著者 |
菅井, 和己
× 菅井, 和己
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| 学位名 | ||||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関名 | 豊橋技術科学大学 | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 1996-12-18 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 13904乙第91号 | |||||||
| 関連サイト | ||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||
| 関連識別子 | http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3124716 | |||||||
| 関連名称 | NDLデジタル化資料 | |||||||
| 関連サイト | ||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||
| 関連識別子 | http://www.tut.ac.jp/university/docs/abstR91.pdf | |||||||
| 関連名称 | TUT博士論文要旨 | |||||||
| 他の資源との関係 | ||||||||
| 関連名称 | 上記資料は目次のみ利用可 | |||||||
| 他の資源との関係 | ||||||||
| 関連名称 | 上記資料は要旨のみ利用可 | |||||||
| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||
