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エピタキシャルAl[2]O[3]薄膜を用いたSOI構造形成に関する研究
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/581
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/58195042159-100d-4fca-8e5c-c7442d0604dc
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
phdk0042 (98.4 MB)
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.png)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2012-11-08 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | エピタキシャルAl[2]O[3]薄膜を用いたSOI構造形成に関する研究 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 著者 |
澤田, 和明
× 澤田, 和明 |
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| 学位名 | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 学位名 | 工学博士 | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関名 | 豊橋技術科学大学 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 1991-03-22 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 13904甲第42号 | |||||
| 関連サイト | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/2964315 | |||||
| 関連名称 | NDLデジタル化資料 | |||||
| 関連サイト | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://www.tut.ac.jp/university/docs/abstK42.pdf | |||||
| 関連名称 | TUT博士論文要旨 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
