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  1. 学位論文
  2. 課程博士
  3. 1990-1999年

エピタキシャルAl[2]O[3]薄膜を用いたSOI構造形成に関する研究

https://repo.lib.tut.ac.jp/records/581
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/581
95042159-100d-4fca-8e5c-c7442d0604dc
名前 / ファイル ライセンス アクション
phdk0042.pdf phdk0042 (98.4 MB)
license.icon
Item type 学位論文 / Thesis or Dissertation(1)
公開日 2012-11-08
タイトル
タイトル エピタキシャルAl[2]O[3]薄膜を用いたSOI構造形成に関する研究
言語 ja
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ doctoral thesis
アクセス権
アクセス権 open access
著者 澤田, 和明

× 澤田, 和明

ja 澤田, 和明

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学位名
言語 ja
学位名 工学博士
学位授与機関
学位授与機関名 豊橋技術科学大学
学位授与年月日
学位授与年月日 1991-03-22
学位授与番号
学位授与番号 13904甲第42号
関連サイト
識別子タイプ URI
関連識別子 http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/2964315
関連名称 NDLデジタル化資料
関連サイト
識別子タイプ URI
関連識別子 https://www.tut.ac.jp/university/docs/abstK42.pdf
関連名称 TUT博士論文要旨
著者版フラグ
出版タイプ VoR
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Ver.1 2023-06-19 07:43:23.066582
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