WEKO3
アイテム
窒化物半導体-シリコン異種ウエハ接合を用いた高密度光電子集積回路の基盤技術
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/2015
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/2015875c1e74-3ac2-4b5d-92a2-f1b1dee4550d
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
|
|
| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-07-27 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 窒化物半導体-シリコン異種ウエハ接合を用いた高密度光電子集積回路の基盤技術 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | Monolithic Fabrication Processing of Large-Scale Optoelectronic Integrated Circuits using Si/SiO2/Ⅲ-Nitride Wafe | |||||||
| 言語 | en | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| 著者 |
土山, 和晃
× 土山, 和晃
|
|||||||
| 学位名 | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関識別子 | 13904 | |||||||
| 学位授与機関名 | 豊橋技術科学大学 | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2017-03-23 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 甲第766号 | |||||||
| 関連サイト | ||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||
| 関連識別子 | https://www.tut.ac.jp/university/docs/abstk766.pdf | |||||||
| 関連名称 | TUT博士論文要旨 | |||||||
| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||