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アイテム
チタン陰極窒素ガス真空ア-クプラズマにおける励起・電離および蒸着プロセスに関する研究
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/387
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/387105d3303-1b2c-4101-abd3-87d6494b4e97
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
phdr0087 (85.1 MB)
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.png)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2012-11-06 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | チタン陰極窒素ガス真空ア-クプラズマにおける励起・電離および蒸着プロセスに関する研究 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| 著者 |
榊, 守
× 榊, 守
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| 学位名 | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関識別子 | 13904 | |||||||
| 学位授与機関名 | 豊橋技術科学大学 | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 1996-03-13 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 乙第87号 | |||||||
| 関連サイト | ||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||
| 関連識別子 | http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3109685 | |||||||
| 関連名称 | NDLデジタル化資料 | |||||||
| 関連サイト | ||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||
| 関連識別子 | http://www.tut.ac.jp/university/docs/abstR87.pdf | |||||||
| 関連名称 | TUT博士論文要旨 | |||||||
| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
