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  1. 学位論文
  2. 論文博士
  3. 2010-2019年

半導体デバイスのバックエンドプロセスの複合要因故障と故障解析技術

https://repo.lib.tut.ac.jp/records/2068
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/2068
82ae47a9-b97f-4609-8484-b093b218515e
名前 / ファイル ライセンス アクション
o245.pdf o245 (6.5 MB)
license.icon
Item type 学位論文 / Thesis or Dissertation(1)
公開日 2018-12-17
タイトル
タイトル 半導体デバイスのバックエンドプロセスの複合要因故障と故障解析技術
言語 ja
タイトル
タイトル Backend process multifactor failure mechanism and failure analysis technique of semiconductor devices
言語 en
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ doctoral thesis
アクセス権
アクセス権 open access
著者 直永, 卓也

× 直永, 卓也

ja 直永, 卓也

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学位名
言語 ja
学位名 博士(工学)
学位授与機関
学位授与機関識別子 13904
学位授与機関名 豊橋技術科学大学
学位授与年月日
学位授与年月日 2018-03-07
学位授与番号
学位授与番号 乙第245号
著者版フラグ
出版タイプ VoR
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Ver.1 2023-06-19 07:38:31.741727
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