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アイテム
半導体デバイスのバックエンドプロセスの複合要因故障と故障解析技術
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/2068
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/206882ae47a9-b97f-4609-8484-b093b218515e
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
o245 (6.5 MB)
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.png)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2018-12-17 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 半導体デバイスのバックエンドプロセスの複合要因故障と故障解析技術 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | Backend process multifactor failure mechanism and failure analysis technique of semiconductor devices | |||||||
| 言語 | en | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| 著者 |
直永, 卓也
× 直永, 卓也
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| 学位名 | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関識別子 | 13904 | |||||||
| 学位授与機関名 | 豊橋技術科学大学 | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2018-03-07 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 乙第245号 | |||||||
| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
